Des chercheurs et des étudiants de l’Institut de techniques nano MESA+ de l’Université de Twente, aux Pays-Bas, ont réalisé le premier instrument de musique MEMS (Micro Electro Mechanical System, microsystème électromécanique en français) capable de produire des sons audibles. L’instrument produit les ondes sonores à l’aide de microressorts, épais de quelques micromètres seulement, et longs d’un peu plus d’un demi-millimètre. Selon les chercheurs c'est l’accordage du micro-instrument qui a été l'étape la plus délicate, mais une fois maîtrisé, le processus a permis de récolter un savoir-faire applicable à la fabrication d’autres micro-structures mobiles.

 

Les ressorts du Micronium, le nom donné par les inventeurs au micro-instrument, sont lestés au moyen de balourds de quelques microgrammes, mis en mouvement par des comb drives. Il s'agit de petits peignes qui, parfaitement emboités au repos, se décalent entre eux sous l’influence d’un courant électrique, ce qui fait vibrer les poids avec une amplitude de quelques micromètres. Cette vibration peut être détectée et produit un son audible après amplification. Chaque note a son propre système à ressort, et une puce contient six de ces systèmes, soit six notes. En utilisant plusieurs puces, il est possible d’étendre la gamme des fréquences.

 

P.-S. J'avais déjà inventé la batterie MEMS. Quand on tape avec un marteau sur une puce MEMS, on entend bien un petit son.